Упругий подвес суперминиатюрного микромеханического гироскопа
Авторы: В.Э.Джашитов, В.М.Панкратов
Построены и исследованы математические модели для расчета и анализа частот собственных колебаний распределенной системы "упругий подвес - чувствительный элемент" суперминиатюрного (объем<0,2мм3) микромеханического гироскопа. Разработано поддерживающее алгоритмическое и программное обеспечение. Осуществлен автоматизированный выбор, на основе определения частот собственных колебаний, геометрических параметров упругого подвеса, обеспечивающих выполнение условия резонансной настройки датчика. Получены оценки влияния технологических допусков на характеристики упругого подвеса.
Ключевые слова: суперминиатюрный микромеханический гироскоп, упругий подвес, частоты собственных колебаний, геометрические параметры, технологические допуска, математические модели
Гироскопия и навигация. - 2011. - № 2. - С. 51-63.
УДК 531.383-11:531.714.7
