Оптимизация конструкции подвижного электрода микромеханического гироскопа RR-типа
Авторы: М. И. Евстифеев, Д. П. Елисеев
Показано, что изменение плоской формы инерционного тела микромеханического гироскопа (ММГ) при воздействии инерционных нагрузок ведет к изменению величины зазора в емкостных преобразователях вторичных колебаний. Предложен алгоритм оптимизации конструктивных параметров подвижного электрода ММГ для сохранения нечувствительности коэффициента преобразования прибора к воздействию поступательных вибраций в направлении, нормальном к плоскости диска инерционного тела, с учетом потери плоской формы.
Ключевые слова: микромеханический гироскоп RR-типа, подвижный электрод
| ОБ АВТОРАХ |
Евстифеев Михаил Илларионович. Начальник отдела, АО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор» (С.-Петербург). Действительный член международной общественной организации «Академия навигации и управления движением». Елисеев Даниил Павлович. Старший научный сотрудник АО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор».
|
Для цитирования
М. И. Евстифеев, Д. П. Елисеев. Оптимизация конструкции подвижного электрода микромеханического гироскопа RR-типа // Гироскопия и навигация. 2017. №2 (97). С. 66-76. DOI 10.17285/0869-7035.2017.25.2.066-076
Английская версия статьи в журнале Gyroscopy and Navigation
Evstifeev, M.I., Eliseev, D.P. Improving the design of moving electrode in MEMS RR-type gyro. Gyroscopy Navig. 8, 279–286 (2017). https://doi.org/10.1134/S2075108717040046
