Влияние ориентации кремниевой структуры на свойства микромеханических акселерометров
Авторы: М.В.Федоров
Исследуется влияние ориентации кремниевой структуры (100), (110), (111) на основные характеристики микромеханических акселерометров при воздействии рабочих температур. В среде ANSYS разработаны модели микромеханических акселерометров осевого и маятникового типов и определены зависимости собственных частот и масштабных коэффициентов от температуры окружающей среды при различных ориентациях кремниевой структуры.
Гироскопия и навигация. - 2011. - № 4. - С. 92-98.
УДК 629.7.05
Журнал «Гироскопия и навигация» включен в «Перечень ведущих рецензируемых научных журналов и изданий, в которых должны быть опубликованы основные научные результаты диссертации на соискание ученой степени доктора и кандидата наук»
